氮化硼(hexagonal boron nitride)
...复上述清洗2~3次烘干； 所述的磁控溅射沉积过程将石墨衬底的生长面向上置于射频磁控溅射沉积 设备的衬底台上，以六角氮化硼(hBN)作为溅射靶材；真空室被预抽真空再通 入质量比为1 : 5.5~6.5的氩气和氮气的混合气体，保持真空室气压为L3 2Pa， 调节射频功率为1...
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氮化硼(hexagonal boron nitride)
hexagonal boron nitride
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