表 中文名称： 氢氧化甲基硼 英文名称： Methylboronic acid 产品规格： 进口 ≥97.0% (T) 1G 参考价格： 电议 CAS 编号： 13061-96-6 供应商： 点这里查看所有供应商信息 推荐供应
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氢氧化甲基硼
Methyl boron hydroxide
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介绍了四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液的腐蚀特性，论述了在单晶硅和多晶硅高温压力传感器的制作过程中，TMAH腐蚀液在浓硼终止腐蚀和各向异性硅杯腐蚀两个制作工艺中的应用。
Application of TMAH solutions which is used as etchant in boron etch-stop and anisotropic etching process in the manufacturing of single-crystal and polysilicon pressure sensors is mainly discussed.
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