hydrogenated nanocrystalline silicon
定义 中文名称： 氢化纳米晶硅 英文名称： hydrogenated nanocrystalline silicon 定义： 晶粒尺寸为数纳米到100nm的硅晶粒自镶嵌于氢化非晶硅基质中的半导体材料。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 半导体材料（二级学科）；非晶
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本发明公开了一个使包括氢化非晶硅和氢化纳米晶硅的氢化硅薄膜具有真正本征性的方法。
The present invention discloses a method for making the hydrogenated si containing hydrogenated amorphous silicon and hydrogenated nanocrystalline silicon has real intrinsic capability.
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