氢倍半硅氧烷 （ HSQ ）是一种消极的抵抗是亚30纳米线的形成层非常薄，但本身是多孔，氢化二氧化硅。
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氢硅倍半氧烷 HSQ
氢倍半硅氧烷
Hydrogen sesquisiloxane
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