...半导体工业制程的进步，对于制程环境污染的关切已由原 有的粒状固体污染物变为气态分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)，无尘室本身产生的AMC可由风机过滤器(FFU) 上的化学过滤器去除，但外气部份则必需靠MAU化学过...
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