为获得更好的刻蚀效果,还采用了FIB的气体辅助刻蚀方法（gas-assisted etching,GAE）。研究发现,与直接刻蚀结果相比,GAE减小了反沉积效应,得到了更好的孔形。
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气体辅助刻蚀方法
Gas-assisted etching method
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