基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究--《电子显微学报》2009年01期 子束注入(focused ion beam implantation,FIBI)和聚焦离子束XeF2气体辅助刻蚀(gas assisted etching,GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参数与离子注入深度的关系。当
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气体辅助刻蚀方法 gas-assisted etching ; GAE
气体辅助刻蚀
Gas-assisted etching
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