建构两阶段决策树演算法以增进半导体晶粒最佳化设计之研究半导体制造厂曝光机台每小时的晶圆产出量(WPH, wafer per hour),受到每片晶圆曝光时间影响,而晶圆曝光时间与曝光次数(shot)有直接影响的关系,另外单次曝光的光罩...
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每小时的晶圆产出量
The output of wafers per hour
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