在这封信中,一种新的五NMOSFET通道(FC-NMOS)采用选择性外延生长(SEG)和横向固相的外延(LSPE)的报告。的FC-NMOS是散装常规NMOS管,两个垂直的NMOS,和栅极全围绕的NMOS的集成。
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横向固相的外延
Lateral solid phase epitaxy
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