严格耦合波分析法(RCWA)是该理论的基础。RCWA在一维情况下得到完美的实现,但对二维光栅,则存在衍射展开阶次高,收敛慢的缺陷。
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严格耦合波分析法 RCWA
利用严格耦合波分析法 RCWA
严格耦合波分析方法 RCWA
严格的耦合波分析方法 rigorous coupled-wave analysis
格耦合波分析法
Lattice coupled wave analysis method
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