别的,此时平面型布局将面对浮栅与掌握栅之间的介电层厚度(inter-poly dielectric)很难进一步缩小的题目,须要转变现有的掌握栅+浮栅的布局,改用电荷捕捉型栅极布局((Charge Trapping Type)),在掌握栅下方部署...
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栅之间的介电层厚度
The thickness of the dielectric layer between the grids
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