...之各项应用，诸如(1) 元件横截面结构观察；(2)平面式去层次 (Delayer) 结构分析与观察；(3)析出物空乏区 (Precipitate Free Zone) 的观察；(4)差排线与过蚀刻(Overetch)凹痕的观察；及(5)氧化叠差(Oxidation Enhanced Stacking Faults, OSF)的研究等。
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析出物空乏区
Depleted zone of precipitates
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