Electron cyclotron resonance
... 介绍了等离子的基本概念,常规微波等离子体系统的组成、功能;从电磁学角度分析了电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)的原理,对电子回旋共振在微波等离子体系统中的应用进行了说明;讨论了ECR微波等离子体系统的组成结构、...
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...绍了等离子的基本概念,常规微波等离子体系统的组成、功能;从电磁学角度分析了电子回旋共振(Electron cyclotron resonance,ECR)的原理,对电子回旋共振在微波等离子体系统中的应用进行了说明;讨论了ECR微波等离子体系统的组成结构、...
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