...rization） 低热涨系数（coefficient of thermal expansion） 化学机械抛光工艺的兼容性（compatibility with CMP process） 能够满足上述特性的完美的低介电常数材料并不容易获得。例如，薄 膜的介电常数与热传导系数往往就呈反比关系。
基于1个网页-相关网页
机械抛光工艺的兼容性
Compatibility of mechanical polishing processes
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动