基于此,本文对电子回旋共振(electron cyclotronresonance,ECR) 微波反应离子刻蚀类金刚石薄膜进行研究,研究了主要工艺参数对刻蚀率的影响,刻蚀出结构完整、失真度小、...
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electron cyclotron resonance
基于此,本文对电子回旋共振(electron cyclotron resonance , ECR) 微波反应离子刻蚀类金刚石薄膜进 行研究,研究了主要工艺参数对刻蚀率的影响,刻蚀 图1 电子回旋共...
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