做为制造LED的关键设备,有机金属气相沉积机台(MEtALOrGANIC CHEMICAL VAPOr PHAsE DEPOsItION, MOCVD)必须进行持续的设计演进,才能符合越来越高的要求.举例来说,机台容量便是其中一项进展.
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有机金属气相沉积机台迎接今日LED量产的挑战|东商网新闻中心 具有怎样的特性。然而,惟有当制造成本能与传统技术竞争,LED才会有竞争性。做为制造LED的关键设备,有机金属气相沉积机台(Metalorganic Chemical Vapor Phase Deposition, MOCVD)必须进行持续的设计演进,才能符合越来越高的要求。 举例来说,机台容量便是其中一项进展。1988年时
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