有机金属化学气相外延(MOCVE)是一种十分有前途的外延生长方法，它兼有VPE产量大和分子束外延可精确控制掺杂浓度及厚度的能力。
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金属有机化学气相外延 Metal-organic Chemical Vapor Deposition ; MOCVD
有机金属化学气相外延
Organic metal chemical vapor phase epitaxy
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