...杂质的扩散深度较炉管热处理的扩散深度为浅，因此可有效降低接面深度(junction depth)及有效通道长度(effective channel length)，在深次微米制程技术中愈来愈显得重要。
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光通道有效长度 [动力] effective optical path length ; coefficient of light absorption
有效通道长度
Effective channel length
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