制备光学薄膜通常采用物理气相沉积法(PhysicalVaporDeposition,PVD): 有传统的真空蒸镀法(VacuumEvaporation,VE),包括电阻蒸镀、电子束蒸镀, 也有新出现的荷能离子镀方法,包括离子辅助沉积(IonAssisted ...
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光学薄膜在LCOS光学系统中的应用(光学工程专业优秀论文) - docin.com豆丁网 。 制备光学薄膜通常采用物理气相沉积法(PhysicalVaporDeposition,PVD): 有传统的真空蒸镀法(VacuumEvaporation,VE),包括电阻蒸镀、电子束蒸镀, 也有新出现的荷能离子镀方法,包括离子辅助沉积(IonAssisted
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