原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)，最初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy, ALE)，是一种可以将物质以单原子层形式，一层一层的生长在基底表面的方法。
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...LayerDeposition，ALD），顾名思义，也就是以原子层的精 度一层一层原子的生长，最初称为原子层外延（AtomicLayerEpitaxy，ALE），于20世 纪70年代由芬兰科学家【121提出并用于多晶荧光材料ZnS：Mn以及非晶氧化铝绝缘膜 的...
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