...氧化方法4.6.1 掺氯氧化4.6.2 高压氧化4.6.3 热氧化工艺展望本章小结第5章 扩散5.1 扩散机构5.1.1 替位式扩散（Substitutional）5.1.2 填隙式扩散（Interstitial）5.1.3 填隙-替位式扩散5.2 晶体中扩散的基本特点与宏观动力学方程5.2.1 基本特点5.2.2 扩散方程...
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替位式扩散
Displacement diffusion
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