【暂存槽废水与背面研磨】

暂存槽废水与背面研磨

backside grinding

废水处理系统及方法接收来自BW的废水，另一收集槽接收来自CMP(chemical mechanical polish)暂存槽废水与背面研磨(backside grinding，BG)暂存槽的废水。一反应槽接收来自收集槽的废水及BW(back wash)的废水，一凝结用带正电荷的高分

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废水处理系统及方法接收来自BW的废水，另一收集槽接收来自CMP(chemical mechanical polish)暂存槽废水与背面研磨(backside grinding，BG)暂存槽的废水。一反应槽接收来自收集槽的废水及BW(back wash)的废水，一凝结用带正电荷的高分

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暂存槽废水与背面研磨

Temporary storage tank wastewater with back grinding

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