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晶圆料盒至晶圆料盒式

网络释义

  Cassette-Cassette processing

晶圆料盒至晶圆料盒式(Cassette-Cassette processing)等离子处理 破坏真空的情况下最多可沉积四种薄膜

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有道翻译

晶圆料盒至晶圆料盒式

Cartridge to cartridge

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