SST-AP China 关键。作者的数据。是旋涂式玻璃法（Spin on glass，SOG），即把绝缘材料通过旋转涂敷制成层间绝缘膜；第2类是热流法（Thermal flow），它是在形成层间
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类是旋涂式玻璃法 SOG ; Spin on glass
是旋涂式玻璃法
It is the spin-coated glass method
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