Mean Time Between Failure
...mote 清洗机制经由清洁时间的减少而可改进 工具的亱用、减少湿清洁的频率、改进故障之间的平均时间（mean time between failures ,MTBF）、减少反应腔体零件的成本。此外，它们可经由缺陷的减少而改 进产量。
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...洗机制经由清洁时间的减少而可改进 工具的使用、减少湿清洁的频率、改进故障之间的平均时间（mean time between failures ,MTBF）、减少反应腔体零件的成本。此外，它们可经由缺陷的减少而改 进产量。
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