最初主要采用体单晶生长方法,包括:布里奇曼 (Brid舯a11)法【32矧,移动加热器法(THM)【37郴】、改进的两相混合法(MTPM) 【411和固态再结晶法(ssRM)【42_31等。从20世纪80年代,人们开始尝试采用各种 外延生长的办法进行Hgl朋nJe薄膜生长。
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改进的两相混合法
Improved two-phase mixing method
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