掠射角沉积( GLAD)是制备不规则粒子的一种方法 [ 60] , 补丁的几何形状由蒸气的入射角和单层的方位决定, 一种数学模型被 844高等学校化学学报 ...
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掠射角沉积
Grazing Angle deposition
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掠射角沉积，GLAD（Glangcing Angle Deposition),又可称为 倾斜角沉积。 是一种获得专利的薄膜沉积的过程。由Young 和 Kowal在1959年首次提出，M. Brett and K. Robbie在1998年首次制备成功。 主要原理是吸附原子扩散和核子的影蔽效应。可以制备出形貌可控的薄膜。
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