经由过程这类简略的工艺办法,在矜持金刚石厚膜(FTDF)的成核面上制备了机能优越、到达运用请求的压电薄膜,为进一步的器件制备和运用打下了优越的基本。
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持金刚石厚膜
Hold a thick diamond film
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