角度限制散射投影电子束光刻（SCALPEL）采用并行投影技术，具有分辨率高、曝光范围大的特点，可望获得远比电子束直写光刻高的产量。
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散射投影电子束光刻 SCALPEL
投影电子束光刻
Projected electron beam lithography
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