在扫描后处理中,需要进行栅格转矢量的运算,一般称为扫描矢量化过程。扫描矢量化可以自动进行,但是扫描地图中包含多种信息,系统难以自动识别分辨,这使得完全矢量化的结果不那么"可靠";实际应用中常采用交互跟踪矢量化或半自动矢量化。 矢量扫描EBL系统,用来提高产能,是一种采用定向电子束只对要曝光的芯片部分进行扫描方法。在此方法中,每个需要曝光区域的数字位置被送给x,y数/模转换器(DAC),电子束只指向那些需要曝光的像素。必须事先用软件将像素按顺序排好,以便将电子束偏转所需的时间减小到最小。矢量扫描系统还有第二个优于光栅扫描的重要优点。忽略系统相差和非线性后,图形地址的精度简单地取决于数字的字长。对于矢量扫描系统来说,在决定系统产出量时,DAC的速度起着决定性作用。