... Scanning Electron Microscope --扫描电子显微镜 Scanning Projection Aligner --扫描投影式光刻机 Self Contained Breathing Apparatus --自备氧气呼吸器 ...
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扫描投影式光刻机
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Scanning projection lithography machine
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介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法。
Essay brief a few kind methods of correcting distortion of Scan Projection Mask Alignment System.
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