...寸接近光刻系统的理论分辨极限时，系统所成的空间像将产生十分明显的畸 变，即发生所谓的光学邻近效应（OpticalProximityEffect，OPE）【4】，导致光刻图 形质量严重下降，从而降低了集成电路的成品率。
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...光刻系统的理论分辨极限时，系统所成的空间像将产生十分明显的畸变，即发生所谓的光学邻近效应（Optical ProximityEffect，OPE）【4】，导致光刻图形质量严重下降，从而降低了集成电路的成品率。
所谓的光学邻近效应
The so-called optical proximity effect
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