采用两种不同的工艺制备了改性SOI材料，即氧氮共注(SIMON)工艺、注氮改性工艺。利用截面透射电镜(XTEM)、二次离子质谱(SIMS)、X光电子能谱(XPS)及电子顺磁共振(EPR)等手段研究了SIMON和注氮改性工艺对材料结构及性能的影响。
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横截面透射电子显微镜 XTEM
截面透射电镜
Cross section transmission electron microscope
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本发明涉及的是一种表面自身纳米化后横截面透射电镜样品的制备方法。
The invention relates to a preparation method for a cross-section transmission electron microscope sample after the self surface thereof is processed by nanocrystallization.
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