...- SooPAT专利搜索 ,SOG)技术在富含硅的介电层上形成层间介电(inter-layer dielectric,ILD)或金属间介电(inter-metal dielectric,IMD)层,该富含硅的介电层可阻止在旋涂式玻璃技术中所使用的溶剂的扩散。
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...其形成方法 s，SOG)技术在富含硅的介电层上形成层间介电(inter-layerdielectric，ILD)或金属间介电(inter-metaldielectric，IMD)层，该富含硅的介电层可阻止在旋涂式玻璃技术中所使用的溶剂的扩散。
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