...式分析之前,为了故障模式分析的进行,会利用光学检验(optical examin ation)或扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)等方式,先将此集成电路结构中的低介电常数材料移除,并暴露出导体层。
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或扫描式电子显微镜
Or scanning electron microscope
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