...的感应炉 指 电炉 将还原炉的副产物—四氯化硅（SiCl）在加氢条4氢化炉 指 件下，在一定的温度下进行反应，生成三氯氢硅（SiHCl）的专用设备 3通过还原反应，将三氯氢硅生成高纯硅的专用设还原炉 指 备 铸锭炉 指 在真空状态和惰性气体保护下，通过石墨电阻加1...
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成三氯氢硅
Form trichlorosilane
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