探针卡主要可分成悬臂式探针卡(cantilever probe card)与垂直式探针卡 (vertical probe card)两大类,传统的晶圆探针卡以悬臂式为主,由于其结构上的 限制,所能测试的范围,限于晶圆晶...
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悬臂式探针卡
Cantilever probe card
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