...系统中将金属蒸发有三种方法，它们是： 电热丝 (filaments) 电子射束 (electron beam) 快闪式热平板 (flash hot plate) 电热丝为三种方法中最简单的，常用在不重要的蒸镀工作，如晶圆背面的金镀 层。
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快闪式热平板
Flash hot plate
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