rapid thermal annealing process
...极(drain)； 在该源极与该漏极表面形成一镍(nickel，Ni)层；以及 进行一快速加热退火制作工艺(rapid thermal annealing process，RTAprocess)，以使该镍层与该源极与该漏极表面相反应而在该源极与该漏极表面形成一镍硅层。
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...在该源极与该漏极表面形成一镍(nickel，Ni)层；以及 进行一快速加热退火制作工艺(rapid thermal annealing process，RTAprocess)，以使该镍层与该源极与该漏极表面相反应而在该源极与该漏极表面形成一镍硅层。
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