本文研究了多晶硅薄膜的制备方法,低温下快速光热退火(RPTA)和高温下陶瓷衬底上快热化学气相沉积(RTCVD),硅膜的生长及区熔再结晶太阳能硅板生产厂家(ZMR),太阳能灯具生产厂家用高温方式在陶瓷衬底上做了太阳电池的尝试,在高温方式下...
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快速热化学气相沉积 RTCVD ; Rapid Thermal CVD ; rapid thermal chemical vapor deposition
快热化学气相沉积
Rapid thermal chemical vapor deposition
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