2．微型机械电子系统(MEMS)与微纳制造（MNM）； 数控系统硬件、精密仪器、人造器官、通讯装备、环保设备等。
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micro and nano-fabrication
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参考来源 - 微纳光学环腔生物传感芯片的制备研究
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micronano fabrication
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参考来源 - 应用聚焦离子束/电子束技术的碳纳米管探针制备工艺研究 Research into the CNT manufacturing technics based on focused ion beam/electron beam technique
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