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微波间接法

网络释义

  Roth&Rau

(3)微波间接法Roth&Rau) 微波PECVD系统原理 (4)直流间接法(OTB) 直流法的描述 • 直流放电形式的等离子体:在顶端的尖点为阴极,出口处 为平板状阳极...

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有道翻译

微波间接法

Microwave indirect method

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