已开发出多种沉积方法:热丝法(HFCVD)、微波等离子体法(MPCVD)、氧–乙炔焰法、直流辉光等离子体法、射频等离子体法和电子回旋共振微波等离子体法(ECR–MPCVD)等。
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微波等离子体法
Microwave plasma method
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与催化加热法的接枝效果相比,微波等离子体法得到的接枝率更高。
Compared with the method of heatcatalysis initiation, graft yield by MWP initiation is higher than that of heatcatalysis method.
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