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微机电系统材料
Materials for MEMS
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同时，MEMS材料数据库的设计与开发对于实现微机电系统产品的设计开发，实现产业化等具有重要的理论和应用价值。
The design and development of MEMS material database provide a lot of theoretical and applied value for the industrialization of MEMS products.
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