微机电系统技术(Micro-electromechanical Systems, MEMS)是一种结合光学、机械、电子、材料、控制、物理、化学、生医等多重技术领域的整合型微小化系统制造技术,其...
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3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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...术的光机电(Opto-mechatronics)；著重于微小化(Downsizing)的微机电系统技术(MEMS, Micro-electromechanical Systems Technology)与奈米机电技术(NEMS, Nano-electromechanical Systems Techn..
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因此，应用微机电系统技术制备的可植入神经假体治疗周围性神经损伤疾病在动物研究和临床工作得到进一步的深入。
Therefore, embedding nerve prosthesis prepared by micro electronic mechanical system (MEMS) technique as treatment for peripheral nerve damage has been dug deeper in animal and clinical study.
主要讨论了微机电系统主要的设计方法以及微机电系统技术在磁力轴承中的应用，最后指出了目前微机电系统技术所面临的主要问题及其发展趋势。
The main design method and the application in the AMB of MEMS are studied in detail. Finally, the main problems and the development trend of MEMS are indicated.
对投影型微光学编码器的原理进行了分析，结合微机电系统集成技术，提出并实现了投影型微光学编码器。
The principle of projection type micro optical encoder has been described and the optics theory of grating imaging is deduced.
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