纳米卫星采用MRMS（微型机电一体化系统）中的多重集成技术，利用大规模集成电路的设计思想和制造工艺，不仅把机械部件像电子电路一样集成起来，而且把传感器、执行器、微...
基于4个网页-相关网页
微型机电一体化系统
Micro mechatronic system
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
Micro electro mechanical systems (MEMS) are the micro mechatronics fabricated by microelectronic technology and micromachining.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动