...径边缘形 成新的材料,新的材料暴露在空气中,引起氧化,将导致阻值发生漂移;刻蚀路 径周围的热影响区(HeatAffectedzone,HAz)出现应力和微裂纹,在后续工艺 中,受热冲击裂纹将进一步扩大,热影响区的材料结构也将发生变化,也将导致...
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(光学专业优秀论文)激光微细加工研究 - docin.com豆丁网 部破坏,且在刻蚀路径边缘形 成新的材料,新的材料暴露在空气中,引起氧化,将导致阻值发生漂移;刻蚀路 径周围的热影响区(HeatAffectedzone,HAz)出现应力和微裂纹,在后续工艺 中,受热冲击裂纹将进一步扩大,热影响区的材料结构也将发生变化,也将导致
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