...对其HfO_2栅介质电学性质和可靠性的影响;分析了HfO_2栅介质中的漏电流机制和应力感应的漏电流(Stress-induced leakage current,SILC)效应以及工艺条件的影响;同时还利用反应溅射方法制备了氮化的HfO_2(HfO_xN_y)栅介质薄膜,...
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应力感应的漏电流
Stress-induced leakage current
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