干腐蚀是指在没有水（包括但不限于液体水，水溶液或水蒸气）接触的情况下，引起的腐蚀或者氧化现象，即指等离子腐蚀，主要包括等离子体腐蚀、离子铣蚀、溅射腐蚀、反应离子束腐蚀和反应离子腐蚀(也称反应溅射腐蚀)。
1．1．2按金属的腐蚀环境分类 （1）干腐蚀（dry corrosion），是指环境中没有液相或在露点以上时发生的腐蚀，典 型形式为高温氧化和失泽。
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干腐蚀装置 dry etching apparatus
干腐蚀反应器 dry etching reactor
干法腐蚀 Dry etching ; Dry-Etch
耐干洗溶剂腐蚀性 resistance to dry cleaning solvents
腐蚀干部 corrupt the cadres
干大气腐蚀 dry atomospheric corrosion ; dry atmospheric corrosion
自干型耐腐腐蚀印料 self-drying etching resist ink
躯干二度腐蚀伤 Corrosion of second degree of trunk
躯干三度腐蚀伤 Corrosion of third degree of trunk
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