本实验室已用APTCVD(常压热化学气相沉积)法在钢铁表面成功沉积了氮化硅膜，并对其相关性能进行了表征与分析，从而证实了该法制备的氮化硅膜具有良好性能、能实现膜层与基...
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常压热化学气相沉积
Atmospheric pressure thermochemical vapor deposition
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